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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵

簡(jiǎn)要描述:
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵
通過(guò)與干式真空泵、油旋轉(zhuǎn)真空泵或水封真空泵一起使用,機(jī)械增壓泵可以將抽速提高到 10kPa 至 0.1 Pa 之間,此時(shí)粗抽泵的抽速會(huì)下降?!癕odel:PRC" 專(zhuān)為特別需要清潔度的半導(dǎo)體和液晶顯示器工藝而設(shè)計(jì)??梢赃x擇大氣壓?jiǎn)?dòng)類(lèi)型作為選項(xiàng)。

更新時(shí)間:2025-06-20

訪問(wèn)量:385

廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商

型號(hào):PRC-003A

品牌ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵


特征

無(wú)油 泵殼內(nèi)無(wú)油,即使在排出水蒸氣或溶劑蒸氣時(shí)也能保持穩(wěn)定的性能。

屏蔽電機(jī)

使用屏蔽電機(jī)可以避免在大氣和真空之間使用機(jī)械密封。它可以在清潔的環(huán)境中使用,無(wú)需擔(dān)心漏油。

優(yōu)異的耐腐蝕性 表面處理

主要部件的表面硬度和耐腐蝕性的陽(yáng)極氧化涂層可以防止泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕??梢赃x擇非表面處理作為選項(xiàng)。

用于較短抽真空的常壓?jiǎn)?dòng)型(選項(xiàng):變頻器)與標(biāo)準(zhǔn)型相比,該類(lèi)型可以縮短抽氣時(shí)間,因?yàn)楸门c粗抽泵同時(shí)啟動(dòng)。

應(yīng)用

  • 蒸發(fā)、濺射、離子電鍍、真空干燥機(jī)、冷凍干燥機(jī)、真空脫氣

  • 分析儀器、泄漏測(cè)試系統(tǒng)、氣體交換、填充、真空絕熱

  • 熱處理、熔化爐

  • 其他各種真空系統(tǒng)

規(guī)格

型號(hào) *1PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列PRC-018A 系列
最大抽速
50 赫茲280米3/h
(4670 升/分鐘)
500 米3/h
(8330 升/分鐘)
1000 米3/h
(16700 升/分鐘)
1500米3/h
(25000 升/分鐘)
60 赫茲330 米3/h
(5500 升/分鐘)
600米3/h
(10000 升/分鐘)
1200米3/h
(20000 升/分鐘)
1800 米3/h
(30000 升/分鐘)
最大吸入
壓力
50 赫茲1.2 x 103帕1.3 x 103帕1.2 x 103帕
60 赫茲約9.3 x 102帕1.1 x 103帕約9.3 x 102帕

最大允許壓

50 赫茲4.0 x 103帕7.3 x 103帕4.3 x 103帕
60 赫茲3.3 x 103帕6.0 x 103帕3.2 x 103帕
極限壓力 *24.0 x 10-1帕6.7 x 10-1帕
允許的驅(qū)動(dòng)壓力~1.0 x 105Pa(常壓?jiǎn)?dòng)型)
電機(jī) *3電機(jī)類(lèi)型Cand 三相感應(yīng)電動(dòng)機(jī)
能效
等級(jí)
權(quán)力0.75 kW(2 極)2.2 kW(2 極)3.7 kW(2 極)5.5 kW(2 極)

電壓
(200V
級(jí))
50 赫茲200 伏
60 赫茲200/220 伏
油 *4
ULVOIL R-42
油量0.7 升1.5 升1.9 升
冷卻方式水冷
冷卻
一次側(cè)
壓力
0.3 米帕
入口/出口
壓力差異
l 壓力
體積
0.01 Mpa以上
冷卻水
容量
2 升/分鐘3 升/分鐘
冷卻水
溫度 *5
5 ~ 30 °C
入口 JIS-B-2290相當(dāng)于 VG80 /
ISO80F 或 ISO100F(可選)

相當(dāng)于 VG100 /
ISO100F
(可選)

相當(dāng)于 VG150 /
ISO160F
(可選)
出口 JIS-B-2290相當(dāng)于 VF80 / ISO80F 或 ISO100F(可選)
相當(dāng)于 VF100 /
ISO100F
(可選)
尺寸 W×D×H *6296×575×260
毫米
356×619×320
毫米
406×759×340
毫米
406×989×340
毫米
重量51 千克86 千克118 千克150 千克
標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵VD601 系列VD901 系列
VS2401 系列
VS2401 系列
適用標(biāo)準(zhǔn)-
標(biāo)準(zhǔn)附件一劑油,一套手冊(cè)
選擇無(wú)表面處理的泵、適配器法蘭、
常壓?jiǎn)?dòng)型(變頻器)、

注)本規(guī)范使用 SI 測(cè)量單位。轉(zhuǎn)換為非 SI 單位如下:
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 Torr

*1 標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)為表面處理(陽(yáng)極氧化涂層)。
可選,無(wú)表面處理模型可供選擇。
*2 使用標(biāo)準(zhǔn)前級(jí)泵和標(biāo)準(zhǔn)真空油的皮拉尼真空計(jì)測(cè)量。
*3 防爆法蘭電機(jī)(增安型和隔爆型外殼型)
無(wú)法選擇。
*4 油選項(xiàng) : 可選,氟油 (J25F) 類(lèi)型可選擇。
*5 在沒(méi)有冷凝的環(huán)境中使用。
*6 有關(guān)其他尺寸,請(qǐng)?jiān)L問(wèn) ULVAC 網(wǎng)站并參考發(fā)布的 CAD 數(shù)據(jù)。

抽速曲線

PRC-003A/006A 系列日本ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵PRC-012A/018A 系列日本ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵


尺寸圖

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵

PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列PRC-018A 系列
W296356406406
D575619759989
H260320340340



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